韓國半導體用臭氧發生器CN-1介紹
優點
產生高濃度臭氧
臭氧濃度220mg/L（約15%）
流量調節0~2[LPM]
臭氧出口壓力0~2kg/c㎡
原料空氣氧氣、氮氣
可調節壓力0.5~1.2kg/c㎡
冷卻式水冷式專用
其他氧氣發生器外置，需要外部冷卻水供應，防逆流（可選）
參數
型號名稱：CN-1
臭氧濃度：220g/? 氧氣 1.0 LPM 標準
功耗：MAX 0.7KW （氧氣發生器，冷卻器單獨)
電源規格：220V 1Φ 60Hz
冷卻方法：僅限水冷式
冷卻液需求：3LPM 或更高版本
流量控制：Flow Controller
控制臭氧濃度：Digital Volume
顯示設備
1. 液晶屏顯示 -RUN，PURGE，ERROR，PV[%]，SV[W]
2. 測量儀LCD：顯示臭氧生成濃度值
3. 控制器：在雷莫特操作時設置目標臭氧濃度
4. 流控制器：設置供氣流量
5. O<> 壓力表：臭氧發生器內部壓力指示
控制臭氧的產生：功耗控制在 12% 到 100%
進出口：1/4"(6.3Φ)
主材：Stainless Steel, Aluminum
尺寸 （WXDXH）：479 × 446 × 843(mm)
產品重量：約 60 Kg
操作條件
? 正常溫度 （0°C 至 30°C）)
? 通風良好且無濕氣的地方
